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電子工業潔凈廠房特種氣體系統設計要求:1. 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體供應，在電子工廠內應設置儲存、分配系統。 2. 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔...
電子工業潔凈廠房干燥壓縮空氣系統設計要求:潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定： （1） 供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗...
電子工業潔凈廠房常用氣體系統設計要求:1.常用氣體供應系統宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態氣體、瓶裝氣體。 2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散...
電子工業潔凈廠房氣體供應設計一般規定:1. 潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。 2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣...
電子工業潔凈廠房純水系統設計要求:1. 電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。 2. 純水的輸送干管應敷設...
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