電子工業(yè)潔凈廠房常用氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求如下：

1.常用氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購(gòu)液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。氫氣放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。放散管引至室外，應(yīng)高出本建筑的屋脊1m，并應(yīng)采取防雨、防雜物侵人的措施。

3. 氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：

      （1）氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；

      （2）氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體人口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；

      （3）各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；

      （4）氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。

4. 進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。

5. 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

      （2） 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；

      （3） 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

      （4） 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；

      （5） 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

6. 潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

      （1） 管道及閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；

      （2） 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；

      （3） 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。

7. 各種常用氣體的氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室（區(qū)）內(nèi)，但應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

8. 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：

      （1） 氣體純度大于或等于99999999％時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；

      （2） 氣體純度大于或等于99.999％、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

      （3）氣體純度大于或等于99.99％、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道   宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；

      （4）氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

9. 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 管道連接應(yīng)采用焊接，

      （2） 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融對(duì)接焊；

      （3） 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

      （4） 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。