電子工業潔凈廠房特種氣體系統設計要求如下：

1. 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體供應，在電子工廠內應設置儲存、分配系統。

2. 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

3. 潔凈室（區）內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置，應符合下列規定：

      （1）特種氣體鋼（含硅烷或硅烷混合物）應設置在具有連續機械排風的特氣柜中；

      （2） 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；

      （3） 一個特氣分配系統供多臺生產設備使用時，應設置多路閥門箱；

      （4） 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合《GB 50472-2008 電子工業潔凈廠房設計規范》第10.1和10.2節的有關規定。

4. 特種氣體分配系統應設置吹掃盤，并應符合下列規定：

      （1） 應設置應急切斷裝置；

      （2） 應設置過流量控制裝置，

      （3） 應設置手動隔離閥；

      （4） 吹掃氣源宜采用常用氣體系統；

      （5） 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

5. 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定：

      （1） 儲存區應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；

      （2） 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m;

      （3） 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。