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電子工業潔凈廠房空氣凈化設備設計要求

發布時間:2022-06-01 17:50人氣:

1. 空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求:

      (1) 空氣過濾器應根據空氣潔凈度等級選用;

      (2) 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;

      (3) 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;

      (4) 高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端;

      (5) 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;

      (6) 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;

      (7) 對化學污染物有控制要求的潔凈室(區),在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;

      (8) 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。

2. 風機過濾器機組的設置應符合下列要求:

      (1)應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;

      (2)應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置,

      (3)終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定;

      (4)送風量應能調節;

      (5)應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應滿足檢修要求。

3. 層流罩的設置應符合下列要求:

      (1)潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩;

      (2)層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用;

      (3)終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定;

      (4)安裝方式不應影響生產操作。

4. 微環境裝置的設置應符合下列要求:

      (1)當生產工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求,且所控區域不大時,宜采用微環境裝置;

      (2)微環境裝置宜與生產工藝設備配套;

      (3)在不影響工藝操作的前提下,應具有可靠的密閉性,內外表面應平整、光滑;

      (4)圍擋構造、材料的選用應方便生產操作。

5. 干表冷器的設置應符合下列要求:

      (1) 安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定;

      (2) 迎面風速、結構形式應根據潔凈室(區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定;

      (3) 冷凍水進水溫度,宜高于潔凈室(區)內空氣的露點溫度;

      (4) 應設置排水設施。

6. 凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置,應符合下列要求:

      (1)應有良好的氣密性,漏風率不得大于1%;

      (2) 整體結構應有足夠的強度和剛度,內表面應平整、光滑,外表面不應結露;

      (3) 布置應整齊,并應便于運行和維修;當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區)服務時,宜選用相同規格的空氣處理機組;

      (4) 送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統總阻力時,中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;

      (5) 應設置排水裝置。

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