電子工業潔凈廠房凈化空調系統設計要求如下：

1. 潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。

      凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。

2. 潔凈廠房的潔凈室（區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室（區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。

3. 凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。

4. 多套凈化空調系統同時運行或較大電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。

5. 凈化空調系統設計應合理利用回風，但下列情況不得回風：

      （1） 在生產過程中向車間內散發的有害物質超過規定時；

      （2）采用局部處理不能滿足衛生要求時；

      （3）對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

6. 凈化空調系統需設置電加熱時，應選用不產塵的電加熱器，且應布置在高效過濾器的上風側，并應采取安全保護措施。

7. 凈化空調系統的電加濕器應采取安全保護措施。

8. 根據氣象條件，存在冷凍可能的地區，新風系統應采取防凍保護措施。