圖1表示了潔凈室的構成。從構成潔凈室整體的硬件來說，有以下幾部分：

1．潔凈室圍護結構   

      由土建材料現場構筑或工廠預制的構件構筑，它們包括潔凈廠房的土建結構和在土建結構內分隔出潔凈室的建筑裝修部分。除了合理的平、剖面規劃布置外，為滿足潔凈要求的建筑和裝修構造接點的設計和制作，也是重要的構成部分。

2．空氣凈化系統   

      除了要滿足工藝要求的室內溫濕度外，凈化空調系統的顯著特點是根據需要采用多級空氣過濾器、保證足夠的風量和有序的壓力控制等。末級過濾器的性能對潔凈室具有關鍵作用，末端高效過濾器安裝的密封性也不可忽視。

3．附屬設備   

      為保證潔凈室的使用，應有合理的人物流路線和合格的人物凈化設施，如空氣吹淋、傳遞窗等。此外，還有為工藝需要所敷設的其他工藝管線、用于監測潔凈室潔凈度級別和壓力的相關儀器等。