空氣潔凈技術（又稱潔凈技術或潔凈室技術）最初是指以控制室內空氣中懸浮顆粒物濃度為目標的相關技術，懸浮顆粒物的濃度用單位體積空氣中大于等于某一粒徑顆粒物的允許數量來表示，通常也稱為空氣的潔凈度，并以此來劃分潔凈度等級或級別。

      最初運用潔凈技術的目的是為了提高精密產品（如儀器儀表）的成品率或降低其故障率，隨著科學技術的發展，產品的精密度越來越高，特別是微電子工業的發展，對生產環境的潔凈度要求也越來越高，控制的對象也從單一的懸浮顆粒物擴展到有害氣體。而潔凈技術在控制空氣中的懸浮顆粒物的同時，也有效地控制了空氣中的細菌和病毒等有害微生物，所以又逐步推廣到醫療、制藥、生物等領域，形成了當前比較完善的潔凈技術體系。

      工業潔凈室（ICR Industrial Clean room）以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對象，主要為精密機械和電子產品等行業提供符合要求的生產環境。

      毋庸諱言，與其他高科技一樣，潔凈技術的誕生及最初應用是服務于軍事目的的。第二次世界大戰中一些槍炮、戰車、飛機等使用的儀器合格率低或經常發生故障，使研制者認識到儀器生產與裝配過程中環境空氣中的懸浮顆粒物是罪魁禍首，于是工業潔凈室誕生了。最初的工業潔凈室是比較簡陋的，隨著對原子武器和生化武器研究的發展，在20世紀40年代初高效空氣過濾器研制成功并得到應用，60年代初又出現了“單向流”潔凈室，這些設備與技術的誕生成為潔凈技術發展的里程碑，奠定了現代潔凈技術的基礎。

      現代工業潔凈室應用的代表是微電子行業，主要產品為大規模集成電路和平板顯示器。半個多世紀以來，集成電路得到迅猛發展。

      隨著集成度的增加，元件中的線寬不斷縮小，因此對空氣中懸浮顆粒物的控制粒徑也越來越小，一般認為控制粒徑應當是線寬的1/10~1/3，由于線寬越來越小，這一要求也難以達到了，微電子產品的迅速發展對傳統的潔凈技術提出了極大的挑戰，同時也促進了現代潔凈技術的發展。

      現代工業潔凈室雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對象，但在某些工藝過程對氣態污染物也提出了控制要求，稱為空氣中分子態污染物AMC（AirborneMolecular Contaminants）。因此，空氣凈化技術的關鍵設備也從單一的粒子過濾器發展到可以吸附有害氣態物質的化學過濾器。