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潔凈室氣體系統分項驗收要求:（1） 各種成品應有產品合格證，材料應有質量證明文件。 （2） 實際使用的管道材料和規格應符合設計要求。...
潔凈室氣體管道系統吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內污物，吹除氣流流速應大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統強度試驗要求:1. 可燃氣體和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應逐個進行強度和嚴密性試驗。管路系統安裝完畢后應對系統進行強度試驗。強度試驗應采用氣壓試驗，并應采取嚴格的安全措施，不得采用...
潔凈室氣體管道系統安裝要求:管道安裝前應進行以下準備工作： （1） 配管下料時應采用“等離子切割”或專用切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。...
潔凈室氣體系統管材及附件設計要求:一、潔凈室氣體系統設計一般規定 1. 潔凈室氣體系統施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫用氣體、可燃氣體、惰性氣體輸送管道以及真空...
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