潔凈室純化水與高純水設計要求如下：

1. 工藝用純化水與高純水處理設備的安裝應符合下列規定：

      （1） 純化水處理設備的安裝除應符合設計要求外，還應符合現行國家標準《電子級水》GB 11446.1等有關規定。

      （2） 純化水處理流程工藝布置與安裝方式應合理、安全、方便、美觀。必須校核安裝承重安全。

      （3） 純化水水站的地面、溝道和設備必須作防腐處理，應有急救處理藥箱的固定放置地點。

      （4） 沙濾器、活性炭過濾器和離子交換器的安裝應保持垂直。膜過濾器、反滲透系統、超濾系統和電再生離子系統基架應安置水平。

      （5） 集水濾帽固定應牢固，無污損。

      （6） 濾器中所有介質應按量投入、鋪平、沖洗，待所有介質全部加完后反洗，反洗時間對沙層應為1h，對活性炭應為2h。并應再正洗30min。

      （7） 離子交換器應按設計要求加裝樹脂。

      （8） 反滲透壓力容器的交換膜可用甘油作潤滑劑，但不得使用硅脂。

      （9） 膜過濾設備安裝膜之前應徹底清洗設備管路，不得有顆粒物進入膜組件。

2. 純水和高純水管道、管件、閥門安裝前應清除油污和進行脫脂處理。

3. 管道、管件的預制、裝配工作應在潔凈環境內進行，操作人員應穿潔凈工作服、戴手套上崗。

4. 管件安裝前后或停頓工作時，應充高純惰性氣體保護，并應以潔凈塑料袋封口，一旦發現封袋破損應及時檢查處理。

5. 純化水和高純水（含注射用水）管道以及純蒸汽管道采用不銹鋼（SUS）管時，其管道加工、安裝應符合下列規定：

      （1） 不銹鋼管在堆放、加工過程中，不應直接與碳鋼支架管卡接觸，應以塑料或橡膠墊片隔離。

      （2） 管道連接宜采用焊接、焊環活套法蘭和凹凸法蘭等連接方式。

      （3） 焊接應采用自動焊，管內灌充純氬氣（純度99.999％）直至焊接、吹掃完畢。管壁冷卻后再用四氯化碳脫脂，然后封閉管口。施焊方向與充氣氣流方向一致。

      （4） 管道部件的點固焊可采用手工鎢極氬弧焊，充氬應直至管壁冷卻。

      （5） 設計無要求時，法蘭墊片宜采用非金屬的聚四氟乙烯或軟質聚氯乙烯板。法蘭緊固螺栓應采用不銹鋼材料。

      （6） 焊接人員應有相應資質，施焊前應按施工要求做出樣品，并應在檢驗合格后上崗。

      （7） 管道系統安裝應具備無不流動死水段的特性，系統安裝后應有不小于0.5％的坡度。系統管道和所有設備的安裝應具有殘余水放空能力。

      （8） 管道在焊接、安裝結束后，應將管內焊縫氧化物沖洗干凈，再進行脫脂和酸化鈍化，并記錄在案。

6. 純水、高純水管道當采用偏聚二氟乙烯（PVDF）管時，應符合本規范第6.3.6條的相關要求；當采用硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS）管時，其管道加工、安裝應符合下列規定：

      （1） 管道加工、安裝時應在室溫5℃以上、相對濕度85％以下的清潔環境中進行。

      （2） 管道的連接宜采用粘接、焊接、平焊法蘭連接及活接頭連接。

      （3） 管道或管件的承口不應歪斜和厚度不勻。管端不應有裂縫。管道的承插間隙不應大于0.3mm。

      （4） 管道在粘接前，應對粘接面進行磨砂和清潔處理，不得沾污。應遠離火源。承口上涂膠粘劑，應不少于2次。應保證插入承口的深度，插入深度達到規定后應保持20min。

      （5） 活接頭的接管與管道應采用粘接、焊接或螺紋連接。

      （6） 埋地敷設時，應對墊層進行處理或設簡易管溝；安裝在地面上時，應設防護罩。

      （7） 管道采用焊接或平焊法蘭連接時，應采用自動或半自動熱焊機。管道法蘭應根據不同厚度加工坡口。焊縫應填滿，并高于管子表面2mm～3mm，寬度均勻，不應有焦黃、斷裂、虛焊等缺陷。焊縫強度不應低于母材的60％，焊縫材質應與母材相同。不同管壁厚度的管道、附件不得對焊。

      （8） PVDF管道焊接時應為均勻的雙重焊道，焊道寬度由壁厚確定，并不應小于2mm。

      （9） 管道支、吊架不應設在管子接頭、焊縫處。所有閥門應以支架支承。支、吊架與管子之間應填入軟質絕緣物分隔。

      （10） 穿越圍護結構時，應設套管，套管內不應有接頭。

      （11） 直管段長度超過20m時，應安裝伸縮管。

7. 純水、高純水管道系統壓力試驗合格后，應在系統運轉前進行自來水沖洗，沖洗速度宜大于2m/s，直至沖洗前后水質相同。沖洗后應再用10％雙氧水進行后級循環消毒4h以上，然后用反滲透處理的水沖洗直至前后水質符合設計要求。