一、電子工業潔凈廠房微振控制一般規定

1. 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。

2. 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：

      （1） 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；

      （2）設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；

      （3）對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；

      （4） 潔凈室（區）內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。

二、電子工業潔凈廠房容許振動值

1. 微振動控制設計應根據精密儀器、設備的特性，采取綜合隔振措施，并應滿足容許振動值的要求。

2. 精密設備、儀器的容許振動值物理量的表述，應采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

3. 精密儀器、設備的容許振動值，應由制造商提供。無法確定時，可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

三、電子工業潔凈廠房振動控制設計要求

1. 潔凈廠房的微振動控制設計，應按下列階段進行微振動測試分析：

      （1） 場地環境振動測試及分析；

      （2） 潔凈廠房建筑結構振動特性測試及分析；

      （3） 精密設備、儀器安裝地點環境振動測試及分析；

      （4） 微振動控制的最終測試及分析。

2. 有微振動控制要求的潔凈室（區），其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：

      （1） 建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；

      （2） 應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；

      （3） 主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。

3. 有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.

      （1） 宜采用隔振臺（座）；

      （2） 應選用剛度適當的隔振器，

      （3） 通往潔凈室（區）的管道，宜采取隔振支（吊）架、柔性連接等隔振措施。

4. 潔凈室內精密設備、儀器的被動隔振措施的設計，應符合下列要求：

      （1） 隔振臺（座）應具有足夠的剛度；

      （2） 應采用低剛度隔振設施；

      （3） 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15；

      （4） 隔振臺（座）應采取傾斜校正措施；

      （5）隔振設施不應影響氣流流型，

      （6） 當采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統應進行凈化處理，并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。