電子工業潔凈廠房設備及工器具設計要求如下：

1. 潔凈室（區）內應采用具有防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備，并應符合下列要求：

      （1）表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質；

      （2）設備的傳動部件等應密封性能好，并應防止潤滑油、冷卻劑等的泄漏；

      （3）對生產中發塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應采取防擴散措施，

      （4）設備的金屬外殼應設置接地設施。

2. 當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區）時，宜采取密封隔斷措施。

3. 潔凈室（區）內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。

4. 潔凈室（區）應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。

5. 潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應符合下列規定：

      （1）制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；

      （2）應密封性能好；

      （3）當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；

      （4）構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。

6. 潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：

      （1）使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；

      （2）對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20％時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；

      （3）傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。